A miniatűr mérőcellák működési elve elsősorban a nyúlási hatáson alapul. Amikor az érzékelőt külső erőhatásnak teszik ki, belső rugalmas érzékelőeleme apró mechanikai deformáción megy keresztül. Ez az alakváltozás megfelelő változást okoz a rugalmas testre rögzített vagy integrált nyúlásmérő (nyúlásmérő lemez) ellenállásában. Az érzékelő általában Wheatstone-hidat (teljes -hídáramkör) alkalmaz, hogy a nyúlásmérő ellenállás változását a kifejtett erővel arányos gyenge feszültségjel kimenetté alakítsa.
A mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) technológia fejlődésével a miniatűr mérőcellák mérete jelentősen csökkent. Alaptechnológiája a félvezető piezorezisztív érzékelőelemekre is kiterjedt, piezorellenállásokat gyártva szilícium szubsztrátumokon olyan eljárásokkal, mint az ionimplantáció és a vékony{1}}film leválasztás. Ezenkívül az innovatív rugalmas hordozókialakítások lehetővé teszik, hogy az érzékelő alkalmazkodjon a méréshez ívelt felületekhez.